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Mikrosystemtechnik: Zukunftsszenarien
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Alfons Botthof
,
Joachim Pelka (auth.)
,
Alfons Botthof
,
Dr.-Ing. Joachim Pelka (eds.)
mikrosystemtechnik
bereich
mikrosysteme
optische
z.b
einsatz
systeme
jahr
komponenten
entwicklungen
materialien
anwendungen
bzw
technologien
mikrooptik
sowie
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bedeutung
optischen
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mikroroboter
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mikroelektronik
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rolle
mechanische
weiterentwicklung
zunehmend
führen
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miniaturisierung
technischen
elektronik
mikrorobotik
mikrosystemen
industrie
mikromechatronik
neuer
optik
Year:
2003
Language:
german
File:
PDF, 3.71 MB
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german, 2003
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